我国军工微电子专用化工材料现状及发展

摘要：

本文根据我国微电子技术发展对与之配套的微电子化工材料的要求,阐述了超净高纯试剂、光刻胶和电子特种气体的应用、状况、需要解决的关键技术和发展方向。

关键词： 微电子技术 化工材料 超净高纯试剂 光刻胶 电子特种气体

作者: 穆启道

作者单位: 北京化学试剂研究所北京科华微电子材料有限公司 北京 100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年特种化工材料技术研讨会

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 24-30

在线出版日期: 2006-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）