高纯磷烷的规模化生产

摘要：

对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍，指出随着IC制造业的发展，传统的磷烷净化工艺已成为历史，新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别。吸附—低温精馏—超纯终端净化联合工艺是当今磷烷生产的发展方向，指出了我国未来几年电子气体净化需要克服的技术“瓶颈”。

关键词： 合成工艺 低温精馏 超纯净化 高纯磷烷 规模化生产

作者: 孙福楠 岳成君 李健 吴江红

作者单位: 光明化工研究设计院,辽宁 大连 116031

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国低温与特种气体技术交流大会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 117-119

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）