微量气体定量分析的新方法:光腔衰荡光谱

摘要：

微量气体杂质定量分析在许多领域都非常重要，例如光谱学、化学分析、医疗诊断、环境监测和工业生产中的污染物控制等。半导体产业对高纯度气体的需求对气体供应商和分析仪器制造商提出了巨大挑战。这个挑战要求微景气体分析仪不仅应具有高灵敏度、准确度和快速响应速度，而且要能够经受腐蚀性气体。本文介绍了可以满足上述要求的光腔衰荡光谱，并就其原理、优势等内容作了阐述。

关键词： 微量气体 定量分析 光腔衰荡光谱 响应速度

作者: 阎文斌 Tiger Optics LLC．Warrington

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国低温与特种气体技术交流大会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 44-48

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）