超大工件激光精密加工质量控制

摘要：

本文研究了超大工件激光精密加工飞行光学高斯光束聚焦特性。理论研究表明：将某一特定谐振腔的瑞利长度ZR取代q参量虚部的光斑尺寸w时，q参量的ABCD定律可以从基模推广到高阶模或几个模的叠加，并推导出飞行光学实际焦距与几何焦距之差△f的计算公式。为了精确控制飞行光学聚焦特性，研制了一台超大工件激光精密加工质量控制仪，实验和理论一致。

关键词： 机械加工 激光加工 飞行光学 聚焦控制

作者: 程兆谷 张志平

作者单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年二十一世纪中国光电产业发展论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 74-80

在线出版日期: 2006-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）