工业大功率激光器的最新进展
目前,工业加工选用固体激光器的主要原因是这种激光器采用光纠输出激光能量。在目前各种工业应用中,依然依靠灯泵浦Nd:YAG激光器以确保有4.5KW的输出功率传输到被加工工件上。在材料加工中,目前一种具有可编程聚焦光学系统的二极管泵浦4.5kW薄盘形激光器开辟了许多新的应用领域。泵浦这类薄盘形激光器要求使用高可靠性能的大功率二极管激光器,而这种高可靠性能只有通过现代化自动控制半导体设备来实现。本文介绍了轴快流、扩散冷却式CO2激光器系统、大功率固体激光器、大功率二极管激光器等工业大功率激光器,并就其最新进展进行综述。
CO2激光器 激光能量 固体激光器 二极管激光器 半导体设备
黄芳
国内会议
上海
中文
370-373
2006-11-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)