纳米尺度物质的测量表征和标准
纳米技术就某种意义上讲就是实现原子或分子操作的超精细加工技术。纳米科技的各个领域都涉及对纳米尺度物质的形态、成分、结构及其物理/化学性能(功能)的测量、表征。纳米测量在纳米科技中起着信息采集和分析的不可替代的重要作用。 纳米测量技术包括:纳米级精度的尺寸和位移的测量,纳米级表面形貌的测量以及纳米级物理与化学特性测量。目前迫切需要解决的问题有微电子、超精密加工中线宽、台阶、膜厚等测量问题、纳米材料中的粒子特征测量问题和作为纳米科技主要测量和操作工具的扫描探针显微镜(SPM)、扫描电子显微镜(SEM)等的特性表征和测量准确度评定。文章重点评述了纳米维度(几何量)测量、纳米材料和纳米结构检测与表征、纳米计量体系的国际比对和国际基本单位制(SI)溯源、纳米科技中的标准化工作等,并提出关于作好纳米计量标准的建议和思考。
纳米计量 传递标准 维度测量 超精细加工 化学性能 纳米测量
李同保
同济大学,上海市四平路1239号,200092
国内会议
上海
中文
302-310
2006-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）