纳米压印技术、表面纳米结构及新颖光学器件研究

摘要：

纳米加工技术的崛起和发展,为新颖纳米器件的发展提供了强大的技术支撑。其中纳米压印曝光技术和基于表面纳米结构特殊光学性质的新颖光学器件,引起了人们极大的关注,本文介绍了这一领域的发展简况。

关键词： 纳米压印 纳米结构 纳米器件 光学器件 纳米加工 光学性质

作者: 王庆康

作者单位: 上海交通大学微纳科学技术研究院,上海200030

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届上海纳米科技与产业发展研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 311-314

在线出版日期: 2006-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）