基于尺寸可控的硅纳米晶的光学微盘共振器阵列

摘要：

采用热蒸发、光刻及刻蚀的方法制备光学微盘共振器阵列。 该微盘共振器由嵌埋尺寸可控且均匀分布的硅纳米晶的SiO2薄膜组成,硅纳米晶尺寸约为3 nm。光致发光谱测试得到峰位在800nm的典型3 nm硅纳米晶的光致发光谱,并在该发光谱上观察到微盘共振器的微腔回廊耳语模式(WGMs)光发射,而且只观察到一阶轴向和径向光发射模式。对于直径分别为8.8μm和23.7μm的微盘,其相邻两个WGMS光发射模式的间隔分别为15 nm和6 nm。本结果对硅基纳米光子学主动发光器件的研究具有非常重要的意义。

关键词： 硅纳米晶 微盘共振器 回廊耳语模式 尺寸可控 光致发光谱 发光器件

作者: 张荣君 S．Y．Seo A．P．Milenin M．Zacharias U．Gosele

作者单位: 德国马普微结构物理研究所,Weinberg 2,06120 Halle,德国 复旦大学信息学院光科学与工程系,上海 200433,中国 德国马普微结构物理研究所,Weinberg 2,06120 Halle,德国

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届上海纳米科技与产业发展研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 144-151

在线出版日期: 2006-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）