极紫外与软X射线波段纳米多层膜反射镜

摘要：

本文介绍了极紫外与软X射线波段纳米多层膜的研究,阐述了相应的特点和难点,描述了同济大学近年来在这一领域内的进展,发展了Mo/Si高反射多层膜,13nm处最高反射率超过65％,研制了30.4nm高反射多层膜,两种材料组合的多层膜反射率达25％,三种材料组合的多层膜反射率达32％;制作了Mo/Si宽带多层膜偏振元件,随着波长宽度的增加,反射率逐渐减小。最后介绍了窄带多层膜的研制,将高级次反射和缩小散射层厚度方法相结合,保证了多层膜带宽的连续可调。

关键词： 软X射线 多层膜反射镜 纳米膜 偏振元件

作者: 王占山 朱京涛 张众 王洪昌 徐垚 陈玲燕

作者单位: 同济大学精密光学工程技术研究所,物理系,上海 200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届上海纳米科技与产业发展研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 272-277

在线出版日期: 2006-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）