纳米MgzZn1-zO薄膜的制备及其光学性质

摘要：

采用脉冲激光沉积(PLD)方法在400℃下10PaO2气氛中制备MgxZn1-xO薄膜,研究了Mg含量对MgxZn1-xO薄膜能带宽度的影响。通过X射线衍射(XRD)、紫外-可见光度计表征ZnO薄膜的结构和光学性能。结果表明,MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构,没有出现显著的第二相,而且具有高度c轴取向。并且随着Mg含量的增加,所得MgxZn1-xO薄膜的c轴晶格常数减小,带隙宽度由3.23eV(x=0)几乎线性增到3.77eV(x=0.30)。

关键词： 脉冲激光沉积 晶格常数 能带宽度 纳米薄膜 光学性质 薄膜结构 带隙宽度

作者: 孙林林 马学鸣 石旺舟

作者单位: 华东师范大学物理系,上海 200062

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届上海纳米科技与产业发展研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 216-221

在线出版日期: 2006-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）