一种压电微驱动器的ANSYS仿真研究

摘要：

微泵是微流体系统中重要的驱动部件,压电驱动是实现 MEMS 微流体驱动的一种重要方式.本文根据压电效应原理,提出了一种基于MEMS技术的PZT驱动膜的压电微泵驱动器的结构.利用 ANSYS 有限元分析软件,建立了压电微泵有限元模型,在一个振动周期内进行了耦合场微泵驱动膜振动位移和流场中的液体流速的仿真分析.结果显示,该压电微泵可以很好的实现液体的输运.

关键词： 微泵 压电驱动 有限元分析 压电效应 驱动膜 振动位移

作者: 徐加山 郭涛 孙宏明 郭航

作者单位: 福建省厦门市厦门大学萨本栋微机电中心 361005 新疆乌鲁木齐市新疆大学信息科学与工程学院 830046

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 370-373

在线出版日期: 2008-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）