封孔镀铜溶液中抑制剂PEG的失效机理研究
研究了酸性封孔镀铜溶液中抑制剂PEG的失效机理。考察了阴极区和阳极区PEG的失效过程对脉冲镀铜工艺条件下封孔率的影响,探讨了失效溶液中PEG的补加对封孔率的影响,通过电化学稳态极化测量研究了PEG的失效行为,并采用红外分析方法对阴极区和阳极区PEG的分解产物进行了表征。结果表明,PEG在阴极区发生分解反应,通过断开C-O-C基团而生成分子量更小的PEG且分解产物随通电量的增加可进一步分解成分子量更小的PEG,在阳极区发生聚合反应,通过羟基的聚合而生成分子量更大的PEG且聚合产物随通电量的增加可进一步聚合成分子量更大的PEG分子。通电过程中形成的PEG失效产物对铜沉积的抑制作用减弱,从而使封孔率下降。失效溶液中PEG的补加能够使封孔率恢复到原来的水平。
封孔镀铜 抑制剂 失效机理 分解产物 镀铜工艺
李永磊 王为
天津大学化工学院应用化学系,天津 300072
国内会议
广州
中文
62-66
2009-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）