利用孔面积表征Al2O3/PI复合薄膜击穿特性

摘要：

本文采用溶胶-凝胶方法制备不同组分的Al2O3/PI复合薄膜,测试0、5、10和20％四种组分纳米Al2O3的PI复合薄膜击穿特性,采用扫描电镜观察薄膜击穿孔区形貌,利用积分法计算不同组分纳米掺杂样品击穿孔区的有效面积。结果表明：掺杂5wt％含量的Al2O3的PI复合薄膜击穿场强达到最大,Al2O3组分与击穿孔有效面积关系为：S5wt％<S20wt％<S10wt％<S0wt％,纳米Al2O3颗粒可以减小复合薄膜击穿孔的有效面积,从而提高复合簿膜耐击穿性。

关键词： 纳米颗粒 聚酰亚胺 复合薄膜 溶胶凝胶 击穿特性

作者: 袁鹏亮 殷景华 卜文斌 刘晓旭 范勇

作者单位: 哈尔滨理工大学应用科学学院,150080,哈尔滨

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届中国纳米科技(西安)研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 182-185

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）