热烧结和退火对ZnO薄膜场致发射特性的影响

摘要：

本文低成本丝网印刷法制备了大面积纳米ZnO阴极薄膜,测试研究了ZnO簿膜的伏-安发射特性,提出了低成本丝网印刷制各大面积ZnO薄膜阴极热烧结和退火处理的工艺,从发射特性和均匀稳定发光的阳极可以判断,最高温度843K的热烧结和823K,10 min的退火处理可用于制作大面积纳米ZnO薄膜场致发射信息显示器的阴极。

关键词： 纳米薄膜 热烧结 退火处理 场致发射 丝网印刷

作者: 张秀霞 朱长纯 魏舒怡

作者单位: 北方民族大学电信学院 宁夏 银川 750021 西安交通大学电信学院真空微电子与微机械研究所 陕西 西安 710049 重庆大学应用物理系 重庆 400044

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届中国纳米科技(西安)研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 251-254

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）