高声速SAW金刚石复合结构材料及器件研究
本文阐述了高声速SAW复合结构材料SiO2/ZnO/金刚石/Si及其器件的研究进展情况,给出了该复合结构材料及其器件的制作方法和实验结果.ZnO膜体电阻率ρ,达到1.9×109 Ω.cm。ZnO薄膜C轴垂直取向度2σ达到2.70.用SiO2/ZnO/金刚石/Si压电材料研制出了SAW滤波器。其瑞利波模式相速度Vp0:4236m/s；西沙瓦波模式相速度Vp1:7151m/s,Vp2:11065m/s。实验发现了HVPSAW,其相速度高达16931m/s。金刚石SAW器件插入损耗达到11.6dB。
金刚石 复合材料 相速度 膜体电阻率 压电材料 滤波器
陈运祥 秦廷辉 谭学斌 杨正兵 伍平 杜明熙 周勇 冷俊林
中国电子科技集团公司第26研究所,重庆 400060
国内会议
拉萨
中文
69-71
2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）