背极板刚度对硅微电容传声器性能的影响

摘要：

本文采用等效电路模型对硅微电容传声器建模,在该模型的基础上进行理论分析和数值计算,讨论了背极板应力对硅微电容传声器性能的影响.结果表明,背极板刚度与振膜刚度可比拟时,会使传声器灵敏度有所降低；背极板刚度对高频灵敏度的影响大于低频；降低空气隙的粘滞阻尼有助于减小背极板刚度造成的影响。

关键词： 硅微电容传声器 背极板 频率响应 等效电路 电路模型 振膜刚度

作者: 何庆 乔东海

作者单位: 中国科学院声学研究所,声学微机电实验室,北京,100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008促进中西部发展声学学术交流会

会议地点: 拉萨

会议语种:中文

页码: 37-40

在线出版日期: 2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）