挠性双端固支梁MEMS谐振器研究

摘要：

提出了一种新型的基于SOI材料的亚微米间隙平面电容式谐振器,描述了结构以及工作原理。对谐振器结构进行仿真分析,研究关键工艺,并成功在北京大学微米纳米加工实验室制作出亚微米间隙平面电容式单晶硅谐振器。

关键词： MEMS谐振器 SOI材料 亚微米间隙电容式 挠性双端固支梁 结构仿真

作者: 刘毅 汤雅权 于晓梅

作者单位: 北京大学微电子学研究研究院,北京 100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国频率控制技术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 221-224

在线出版日期: 2008-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）