用于半导体器件参数检测的比例差值谱仪

摘要：

比例差值谱仪运用了独创的在线综合检测分析的专利技术-比例差值谱技术”专利号:ZL90 1 04535.7；2专利号:00100121.3”,实现了半导体器件的关键的电学特征参数(饱和电流、饱和电压、阈值电压、载流了迁移率等)的直接、准确、便捷提取和薄膜材料的缺陷分析。该产品是基于Windows操作系统计算机程控的适用于半导体器件表征和可靠性评估应用的集成化分析仪器。该谱仪的设计结构、产品硬件性能和分析平台可满足各种半导体器件的测试需求。随着纳米电子器件的研制进展,它将在纳电子器件关键参数测试领域发挥优势。

关键词： 半导体器件 参数检测 比例差值谱仪 集成电路纳米尺度器件 在线综合检测

作者: 许铭真 马金源 谭长华 谭映 王洁 靳磊

作者单位: 北京大学微电子研究院,北京 100871 北京市北信通微电子系统公司 北京 100871 北京大学微电子研究院,北京 100871 北京市北信通微电子系统公司 北京 100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 959-962

在线出版日期: 2008-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）