基于InAsP/InGaAsP量子阱的1.3-μm垂直腔面发射激光器
本文以InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱为有源增益区,研制出室温连续工作的单模1.3-μm垂直腔面发射激光器(VCSEL)。激光器谐振腔镜分别由SiO2/TiO2介质薄膜和GaAs,Al(Ga)As半导体分布布拉格反射镜(DBR)实现,由晶片直接键合方法进行InP基有源谐振腔与GaAs基DBR材料的融合,经过选择性侧向腐蚀p+-InP/n+-InAlAs隧道结定义电流限制孔径等器件工艺,最后通过电子束蒸发法沉积介质薄膜DBR制作出激光器件。单模VCSEL器件的室温阈值电流为0.75 mA,最高连续工作温度达到100℃；多模器件的最高光功率为1.9 mW。器件结果表明。InAsP/InGaAsP量子阱材料体系可用于高性能长波长VCSEL的研制。
垂直腔面发射激光器 应变补偿多量子阱 晶片键合 InAsP InGaAsP 布拉格反射镜 有源谐振腔
劳燕锋 曹春芳 吴惠桢 曹萌 刘成 谢正生
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室,上海 200050
国内会议
广州
中文
825-828
2008-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）