Fe掺杂ZnO薄膜的发光特性研究

摘要：

通过直流反应磁控溅射法在Si(111)衬底上制备了不同Fe掺杂量的ZnO薄膜。室温下测量了样品的光致发光(PL)谱,所有样品的PL谱均观察到430nm左右的蓝光发光带,该发光带的强度与Fe掺杂量有关。Fe掺杂量为8％时,ZnO薄膜的PL谱中出现了较强的蓝光双峰。对样品的蓝光发光机制进行了探讨。

关键词： 氧化锌薄膜 铁掺杂 硅衬底 光致发光谱 直流反应磁控溅射法 蓝光发光机制

作者: 郑立波 肖效光 王长征

作者单位: 聊城大学 物理科学与信息工程学院,山东聊城 252059

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 846-849

在线出版日期: 2008-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）