高效高饱和倏逝波耦合型UTC-PD的研制

摘要：

本文报道了一种新的倏逝波耦合型单一载流子光电二极管(EC-UTC-PD),并分析了影响探测器响应度的各因素,在此基础上设计优化了InGaAs/InP倏逝波耦合型单一载流子光电探测器的器件结构,以达到提高响应度的目的。实验结果表明,在1550nm激光辐照下,器件的响应度可达到0.4A/W,饱和电流大于23mA。

关键词： 多模稀释波导 空间电荷效应 光电二极管 光电探测器

作者: 张云霄 廖载宜 陈娓兮 潘教青 朱洪亮 赵玲娟 王圩

作者单位: 中国科学院半导体材料科学重点实验室,中国科学院半导体研究所,北京 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 313-316

在线出版日期: 2008-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）