金属气相沉积法生长氧化锌的电学性质研究
通过金属气相沉积法在(0001)蓝宝石衬底上生长了10 μm厚的ZnO膜。利用变温Hall,SIMS和PL谱对退火前后ZnO样品的电学性质进行了研究。通过变温Hall测试结果发现ZnO 中存在浅施主能级,退火前样品的热激活能只有13meV；退火后为31meV。SIMS测试结果表明退火前后样品中没有出现新的杂质能级。退火前样品只有带边发光,退火后带边发光几乎消失,出现了强的绿光峰。结合SIMS和PL谱。我们认为31meV可能是氧空位(Vo)点缺陷的浅施主能级：530nm的绿光峰来自于Vo的深施主能级。而13meV的浅施主能级则可能是与位错等结构缺陷有关。
金属气相沉积法 氧化锌 薄膜生长 电学性质 施主能级 位错结构
王晓峰 段垚 崔军朋 曾一平
中科院半导体所 照明研发中心,北京 100083
国内会议
广州
中文
395-399
2008-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）