高方阻AZO透明导电薄膜的制备和光电特性

摘要：

采用磁控溅射法,在硅和玻璃基片上制备了AZO(ZnO:Al)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪、紫外/可见光分光光度计、荧光光谱仪和四极探针等仪器,研究了Al浓度对薄膜的微观结构和光电特性的影响。研究结果表明：AZO薄膜为纤锌矿结构且呈c轴择优取向,随着Al浓度的增加,(002)衍射峰强度逐渐减弱；在掺Al浓度小于4wt％时,薄膜在可见光范围内的平均透射率大于80％,方块电阻最小值达到514Ω／□,热稳定性小于20％；在室温下,观察到近带边发光蜂和绿光发光带。

关键词： 光电特性 磁控溅射法 导电薄膜 透明薄膜 微观结构

作者: 叶家聪 李清华 贾芳 朱德亮 曹培江 吕有明 马晓翠

作者单位: 深圳大学材料学院,深圳市特种功能材料实验室,深圳 518060

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 445-448

在线出版日期: 2008-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）