GaN基垂直腔面发射激光器的研制及特性分析

摘要：

以高反射率的SiO2/Ta2O5介质膜DBR作为反射镜,并利用激光剥离技术,制备了GaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)。在光泵条件下,实现了低阈值蓝光激射,阈值能量密度为6.5mJ/cm2,激射波长为449.5 nm,半商宽小于0.1 nm。重要性能指标达到了国际先进水平。

关键词： 氮化镓 垂直腔面发射 激光器 介质膜 激光剥离 能量密度

作者: 张江勇 蔡丽娥 张保平 尚景智 余金中 王启明

作者单位: 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家联合重点实验室,北京 100083 厦门大学物理系/半导体光子学研究中心,福建厦门 361005 厦门大学物理系/半导体光子学研究中心,福建厦门 361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 85-87

在线出版日期: 2008-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）