AlGaN/GaN异质结气体传感器对低浓度CO的响应研究

摘要：

本文研究了基于AlGaN/GaN异质结材料的肖特基二极管气体传感器对于200ppm到1000ppm范围内CO气体的响应状况。 在2V正向偏压下,器件对于低至200ppm的CO仍表现出了明显的响应(电流增大0.7mA),随着CO浓度的升高,器件的电流变化愈加明显,但在反向偏压下,通入CO气体对器件的电流大小无明显影响。我们对器件在不同浓度CO下的灵敏度与外加偏压的关系也做了研究,在正向偏压下,器件的灵敏度随着CO浓度的升高血增大。当CO气体撤销时,器件表现出了迅速的恢复性能,2V的恒定电压下,器件的恢复速度约为3mA/min。

关键词： 肖特基 气体传感器 异质结 二极管 正向偏压

作者: 冯春 王占国 侯洵 王晓亮 杨翠柏 肖红领 王翠梅 侯奇峰 马泽宇 王军喜 李晋闽

作者单位: 中国科学院半导体研究所材料中心 北京 100083 中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室 北京 100083 中国科学院半导体研究所-西安交通大学信息功能材料与器件联合实验室,北京 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 208-211

在线出版日期: 2008-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）