工控机在真空排气中的应用

摘要：

应用工控机实现电真空器件的程控真空排气,以真空度为工艺进程判据,细化控制量,优化工艺,保证工艺的一致性和稳定性,提高了产品的质量,其程控系统设计合理,操作简便,抗干扰能力强。

关键词： 工控机 电真空器件 程控真空排气 真空度 抗干扰

作者: 米伦

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会电子测量与仪器专委会2005年学术年会(第十二届)

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 205-209

在线出版日期: 2005-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）