薄膜型柔性位移传感器的研究

摘要：

本文介绍了一种新型的薄膜型柔性位移传感器,文章对该传感器的工作原理、传感器组成和技术特点等关键技术进行了阐述,经应用论证,本传感器非常适合狭小空间中的球面间的间隙测量,且性能稳定,可靠性高。

关键词： 位移传感器 电涡流传感器 薄膜传感器 工作原理 球面间隙测量 可靠性

作者: 庄志 文勇

作者单位: 四川省919信箱402分箱

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会电子测量与仪器专委会2005年学术年会(第十二届)

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 108-110

在线出版日期: 2005-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）