微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜

摘要：

采用微波等离子体化学气相沉积法在Si基片上用乙醇和氢气沉积了金刚石薄膜。沉积前用金刚石微粉研磨基片可以促进金刚石形核。通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)观察分析了薄膜的表面形貌及成分组成。

关键词： 金刚石薄膜 微波等离子体 化学气相沉积 扫描电子显微镜 X射线衍射

作者: 胡素梅 王红理

作者单位: 西安交通大学理学院，陕西西安 710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 陕西省物理学会2008年学术年会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 93-95

在线出版日期: 2008-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）