工作气压对氮掺杂的氧化锌薄膜结构和发光特性的影响

摘要：

采用射频磁控溅射法制备了在不同工作气压下氮掺杂的Zno薄膜。 对样品的结构性能、发光特性、透射光谱分别进行了检测。研究结果显示：工作气压为0.5Pa时的样品是典型的氮掺杂的ZnO薄膜带隙，禁带中掺杂带隙引起带隙变窄。随着工作气压的下降，掺氮后ZnO薄膜的禁带宽度减小。因此低气压更有利于氧化锌薄膜的氮掺杂。

关键词： 磁控溅射 工作气压 氧化锌薄膜 发光特性 结构性能 透射光谱 氮掺杂

作者: 李倩 崔阿娟 肖锋伟 郑新亮 姚合宝

作者单位: 西北大学物理学系，陕西西安 710069

会议类型: 国内会议

会议名称: 陕西省物理学会2008年学术年会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 96-99

在线出版日期: 2008-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）