纳米光栅栅距的精确测量与nano4国际比对

摘要：

对Littrow衍射方法测量纳米光栅的基本原理、构造及其安装误差进行了分析研究,并利用所建立的测量装置参加了国际计量技术委员会长度咨询委员会组织的一维纳米光栅国际比对.比对结果证明了该测量系统具有优良的计量性能,能够用于纳米光栅栅距的检定校准.

关键词： 纳米计量 纳米光栅栅距 Littrow衍射方法 精确测量 nano4 检定校准 国际比对

作者: 高思田 邵宏伟 王春艳

作者单位: 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 118-121

在线出版日期: 2008-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）