纳米尺度线宽粗糙度测量技术

摘要：

综述了纳米尺度线宽粗糙度测量研究现状.分别论述了线宽粗糙度定义、各种测量工具的优缺点、目前线宽粗糙度采用的测量方法、分析方法及其表征参数,讨论了线宽粗糙度的测量障碍.分析了线宽粗糙度测量不确定度的构成,讨论了采用原子力显微镜为工具的线宽粗糙度测量的影响因素.

关键词： 线宽粗糙度测量 边缘粗糙度测量 原子力显微镜 扫描电子显微镜 散射仪 测量不确定度

作者: 李洪波 赵维谦 赵学增 高思田

作者单位: 北京理工大学信息技术学院,北京 100081;哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江哈尔滨 150001 北京理工大学信息技术学院,北京 100081 哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江哈尔滨 150001 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 93-99

在线出版日期: 2008-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）