一种减小比较仪溯源标准不确定度的新方法
使用量块对高精度光学计、比较仪、测微仪进行检定或校准时,其溯源标准量块长度的不确定度会带来很大的影响,而现在通常使用的”配对法”又存在一些问题.经过分析研究和测试试验,提出了一种减小溯源标准(即量块长度差)不确定度的新方法.用量块干涉仪直接测量两个量块的中心长度差,其测量结果的不确定度能够减小到0.01 μm以下,从而可以满足高精度比较仪的溯源要求.
量块长度 示值误差 比较仪 不确定度 量块干涉仪
吴月艳 张旭东 刘香斌
中国计量科学研究院,北京 100013
国内会议
北京
中文
154-156
2008-08-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)