纳米膜厚的量值溯源初探

摘要：

概述当前国内外纳米材料结构膜厚参数的计量现状,针对我国目前纳米膜厚尚未建立计量溯源体系,提出一种可实现纳米膜厚的量值溯源的途径.首先选择X射线衍射仪(XRD)作为纳米膜厚的计量标准装置,再研制带有台阶的膜厚校准样板,样板经过计量型原子力显微镜检定后,可以校准XRD,从而实现纳米膜厚的量值溯源.还对纳米膜厚校准样板的研制和XRD的计量性能进行初步探讨,为建立我国纳米膜厚测量标准和纳米膜厚测量方法标准化提供技术准备.

关键词： X射线衍射 纳米膜厚 纳米计量 量值溯源 计量型原子力显微镜 纳米标准

作者: 崔建军 高思田 杜华 卢明臻 施玉书

作者单位: 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 160-163

在线出版日期: 2008-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）