多倍程激光干涉仪光路几何特性分析
针对纳米计量高分辨力的要求,应用光学倍程法设计了一套基于Michelson激光干涉仪原型的多倍程激光干涉系统.该系统光源由保偏光纤直接导入,采用共光路、立体空间布局设计。通过建立模型分析该干涉系统的几何特性,得出移动镜偏转对该系统带来的影响可以得到有效补偿,因而光路具有很好的稳定性。出射的参考光与测量光始终保持平行,便于干涉系统光路的整体布局与信号接收,同时易于光路的调节从而获得对比度高、信噪比好的干涉信号.
光学倍程法 多倍程激光干涉仪 纳米计量 光路几何特性
施玉书 高思田 卢明臻 崔建军 杜华
中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所,北京,100013
国内会议
北京
中文
43-47
2008-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）