干涉条纹小数的测量

摘要：

对高精度干涉条纹小数测量的方法进行了系统的介绍.就干涉条纹小数的定义、暗条纹中心的确定、量块中心长度测量的起始和终了位置进行了较全面的分析,实现了不确定度为2 nm的干涉条纹小数的测量.引用实验与国际比对结果理论分析予以验证.

关键词： 一等量块 量块中心长度 干涉条纹小数测量 暗条纹中心 测量定位

作者: 黄晓荣 余晓曦 李小林

作者单位: 中国测试技术研究院,四川成都 610021

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 27-30

在线出版日期: 2008-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）