一种基于高速A/D的刻线瞄准信号处理方法

摘要：

介绍了基于高速A/D信号处理方法的系统组成和工作原理,包括对瞄准信号的模拟信号调理、A/D采样、数字信号处理等环节,能够实现2 nm的瞄准分辨率,可用于激光干涉比长仪的动态显微瞄准系统.通过实验验证了方法的可行性,即使在干扰较大的非理想波形信号的情况下也能得到对刻线瞄准的较高的重复性。

关键词： 光电显微镜 A/D转换 数据处理 瞄准精度 激光干涉比长仪 数字信号处理

作者: 张晓 叶孝佑 孙双花 高宏堂 常海涛

作者单位: 中国计量学院计量测试工程学院,浙江杭州310018;中国计量科学研究院,北京 100013 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 31-35

在线出版日期: 2008-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）