精密测量系统气浮工作台瞬态控制方法
气浮工作台是精密仪器中常用的位移机构.为了消除气体微振动对精密测量的影响,提出了气浮工作台区分两种工作模式:运动模式和测量模式.在掌握气体止推轴承上气和排气的瞬态过程规律的基础上,提出了一种模式切换过程中气浮工作台的瞬态控制方法,实现其运动模式和测量模式的平稳过渡.气浮工作台在上气过程中的偏移不大于250 nm,排气过程中的偏移不大于200 nm,且经历时间在0.3 S左右.该方法的提出提高了气浮工作台的性能,使之成为测量系统中优良的大范围位移系统.
精密测量 气浮工作台 气体轴承 微振动 瞬态控制
卢明臻 高思田 施玉书 杜华 崔建军
中国计量科学研究院,北京 100013
国内会议
北京
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11-14
2008-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）