平台平面度檢測之不確定度評估研究
近年来产业设备本土化之发展蓬勃兴起，尤其是PCB、TFT-LCD、LED、太阳能等产业之制程或自动化检测设备，这些设备均需有高精度、稳定性佳的平台基座作为基础，才能确保产品品质，所以需充份了解平台之平面度检测方法与量测之最佳能力分析，以作为品管或验收之参考。 本研究系参考国际标准组织ISO GUM所建议之要因分析法，进行平台平面度检测之量测不确定度分析，其主要不确定度来源有基座重合误差、电子水平仪解析度、重复性、追溯不确定度、最小平方法误差等,采用平台(3380 mm×1460 mm，平面度为61 μm)与平台(600mm×450mm，平面度为4.2μm)，配合电子水平仪进行实验，可以得到平面度之不确定度(産U95)分别为3.8 μm和1.3 μm(扩充系数约为1.96)。
平面度 量测不确定度 不确定度评估 电子水平仪
劉惠中 張國明
工業技術研究院量测技術發展中心
国内会议
杭州
中文
334-339
2008-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）