SEM及AFM校准放大倍率标样的研究

摘要：

本文报告了用有证标准粒子研制成紧密排列的亚微米标准样品，并给出了研制成的标准样品的不确定度评估。将结果与国际先进的标准参考物质进行了分析比较。该亚微米标准粒子的紧密排列的标准样品在扫描电子显微镜和原子力显微镜放大倍率校准中有实际的应用价值。

关键词： 不确定度 放大倍率校准 紧密排列 标准粒子

作者: 盛克平 丁听生 陆国辉

作者单位: 上海市计量测试技术研究院,上海市201203

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届海峡两岸计量与质量研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 20-26

在线出版日期: 2008-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）