奈米粉體粒徑原級標準量測系統之建置
为了确认纳米材料加工设备的加工性能与纳米材料的纳米性，纳米尺寸如粉体粒径的检测技术与标准追溯乃是纳米科技的重要关键技术之一。本研究以电重力气胶平衡法建置纳米粉体粒径原级标准量测系统，此量测系统首先以雾化器将粉体与空气混合形成气胶後，经由电荷中和器使粉体呈带电状态，接着使带电粉体悬浮於两平行电极平板中，再根据静电力与重力间之静力平衡关系，求得粉体质量。最後则是透过粉体密度计算出粉体粒径大小。此方法之原理简单，非常适合用以发展高量测准确度与低量测不确定度之纳米粉体粒径原级标准量测系统。於100 nm至500 nm量测范围内，最佳量测不确度可小於2 nm。
粉体粒径 原级标准 纳米材料 电重力气胶平衡 量测不确度
余大昌 林志明 潘善鵬 翁漢甫 陳朝榮
工業技術研究院量測技術發展中心
国内会议
杭州
中文
122-126
2008-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）