KMC模拟薄膜生长反常效应的研究

摘要：

以扩散理论基础,建立以”基本微观过程”为核心的新模型,首次对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行KINETIC MONTECARLO模拟.模拟发现,温度较低时沉积原子自身更容易聚集成核,这一反常效应是由于表面活化剂原子比沉积原子更容易被激活扩散造成的.活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,交换比并非恒等于1,而是与温度、入射率、成膜厚度等多种因素有关.

关键词： KMC模拟 薄膜生长 反常效应 扩散理论 表面活化剂

作者: 郑小平 张佩峰 贺德衍 郝远

作者单位: 兰州城市学院,电子信息科学与技术研究所,兰州,730070;兰州理工大学,甘肃省有色金属新材料重点实验室,兰州,730050 兰州城市学院,电子信息科学与技术研究所,兰州,730070;兰州大学,物理科学与技术学院,兰州,730000 兰州大学,物理科学与技术学院,兰州,730000 兰州理工大学,甘肃省有色金属新材料重点实验室,兰州,730050

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 29-31,34

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）