悬空纳米间隔电极对的制备并应用于单分子电学性质测量

摘要：

将普通光刻技术和电化学技术相结合,在微芯片上制备得到了机械可控断裂结法(MCBJ)所需的悬空纳米间隔金属电极对,并分别用热氧化二氧化硅和聚酰亚胺(PI)作为牺牲层使得电极对悬空,明显提高了可控断裂的实验成功率,并延长了微芯片使用寿命.利用分子自组装和MCBJ方法成功构筑了金属/分子/金属结,并实施了对巯基苯胺(BDT)单分子的电学性质测量,得到了BDF的电导值和I-V特性曲线.

关键词： 分子电子学 机械可控裂结法 悬空纳米间隔电极对 热氧化二氧化硅 单分子电导 牺牲层 微加工

作者: 杨扬 田景华 罗仲梓 吴孙桃 田中群

作者单位: 厦门大学,化学化工学院化学系,固体表面物理化学国家重点实验室,福建,厦门,361005 厦门大学,萨本栋微机电研究中心,福建,厦门,361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 278-282,286

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）