真空规原位置校准装置

摘要：

介绍了一种真空规原位置校准的设备，以及原位置校准技术研究，该装置具有结构简单，实用、不确定度小等优点，同时可以满足真空规的在线原位校准.

关键词： 真空规 原位置校准 真空技术

作者: 李正海

作者单位: 兰州物理研究所,甘肃兰州94号信箱 邮编:730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 88-92

在线出版日期: 2009-06-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）