热偶计测量0.1Pa压力与温度关系初探

摘要：

本文分析了热偶真空计在测量0.1Pa压力时所受的影响，重点分析了温度的影响，指出了热偶规校准温度与使用温度不同时，精确测量到0.1Pa时存在的误差，为实际工作中热偶计测量0.1Pa压力提供了借鉴。

关键词： 热偶真空计 热偶规 真空度 压力环境 温度应力

作者: 周庆

作者单位: 首都航天机械公司,北京 100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 99-102

在线出版日期: 2009-06-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）