一种方便高效的真空规校准装置的设计

摘要：

本文讲述了为解决一般采用比对法校准真空规的装置所存在的一次校准真空规数量较少，且由于校准表和被校表处在不同的抽空位置造成的读数误差等问题，所设计出的一套方便高效的真空规校准装置.在该装置上可对测量范围介于10-3Pa-105Pa的各种真空规用比对法进行校准.该装置采用对称结构，且设计简单，可一次校准多块真空规，满足了大批量验收和校准的要求。

关键词： 真空规 校准装置 设计原理

作者: 赫梓宇

作者单位: 核工业理化工程研究院 天津 300180

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 117-122

在线出版日期: 2009-06-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）