真空材料放气率测试方法研究

摘要：

总结了材料放气率测试的各种方法：定容法、固定流导法、收集法和称重法。介绍了真空材料放气率测试的原理和方法，阐述了各自的测量范围.优缺点和关键技术.

关键词： 材料放气率 定容法 固定流导法 收集法 称重法

作者: 曾祥坡

作者单位: 兰州物理研究所 甘肃兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 134-138

在线出版日期: 2009-06-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）