用四极质谱计对超高真空设备进行放气分析研究

摘要：

文章介绍了材料放气的理论，结合schram模型和Malev的吸附-扩散模型，对设备的放气理论值进行分析计算，用四极质谱计分析出超高真空设备的材料真空放气成分.

关键词： 超高真空设备 材料放气 成分分析 四极质谱计

作者: 汪力 闫荣鑫 孙立臣 刘恩均

作者单位: 北京卫星环境工程研究所,北京 100094

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 156-165

在线出版日期: 2009-06-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）