气体微流量计测量小孔流导方法研究

摘要：

介绍了利用气体微流量计的流量测量技术，采用PID和压力锯齿波动两种恒压控制模式测量小孔流导的原理和方法，并对两种方法的测量结果进行了比对，一致性好于0.14％.小孔流导的测量值与理论计算值之间有较大偏差，通过漏孔校准实验，证明前者具有更好的准确性。对于几何尺寸不规则的小孔，用实验方法获得其流导值具有实际应用价值.

关键词： 气体微流量计 小孔流导 测量方法

作者: 冯焱 张涤新 李得天 成永军 卢耀文 赵澜

作者单位: 兰州物理研究所,甘肃兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 178-182

在线出版日期: 2009-06-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）