微压传感器绝对法动态校准理论与实验研究

摘要：

介绍了一种微压传感器绝对法动态校准方法。振动台激励密闭气腔中活塞往复运动产生微小正弦动态压力，激光干涉仪测量的位移通过气动学理论计算出标准正弦压力的幅值与相位，从而实现对被校微压传感器的动态校准。从理论与传声器实验对波动的影响进行了定性与定量分析，同时也从理论与实验对空气泄漏与热传导的影响进行了定性分析。而对微压传感器的试验表明现在常用的激波管校准与正弦压力相对法校准方法在微压传感器动态校准中都存在的缺陷。

关键词： 微压传感器 动态校准 绝对法校准 波动影响 激光干涉仪测量

作者: 杨军 李程 张炳毅 李欣

作者单位: 北京长城计量测试技术研究所,北京 100039

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007计量与测试学术交流会(ICMM 2007)

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 126-134

在线出版日期: 2007-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）