93000集成电路测试系统检定方法研究

摘要：

93000集成电路测试系统是我国使用最多的高档次测试系统。介绍了采用内部参考溯源法对93000进行检定的原理和方法。根据该系统的工作原理和特性，其检定过程分为=三部分：溯源检定、基础检定和自动检定。通过外接溯源仪表和检定专用装置，结合系统工作站检定软件的运行，实现对93000集成电路测试系统的检定，保证了系统测试数据的准确性和可靠性，确保其量值能朔源到国家/国防基准。

关键词： 集成电路 测试系统 溯源法 工作站检定软件 内部参考源 可靠性

作者: 贺志容 沈森祖 韩宏星 吴丹

作者单位: 武汉数字工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007计量与测试学术交流会(ICMM 2007)

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 187-189

在线出版日期: 2007-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）